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什么是OX研磨液?吉致电子氧化层抛光液性能有哪些?

Oxide slurry简称OX氧化物研磨液广泛用于氧化层材料的CMP抛光,抛光研磨后达到精准的表面平整度和厚度控制,如Si Wafer晶圆表面的氧化硅层或者上层金属与氧化硅之间的氧化硅层等吉致电子OX氧化层抛光液适用于4-12…
2024-01-24 09:22类目:五金

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