蓝宝石抛光液的成分

蓝宝石抛光液中的主要成分有磨料、表面活性剂、螯合剂、PH调节剂等。抛光液是影响CMP（化学机械抛光）效果最重要的因素之一，评价化学机械抛光液性能好坏的指标是流动性好，分散均匀，在规定时间内不能产生团聚、沉淀、分层等问题，磨料悬浮性能好，抛光速率快，易清洗且绿色环保等。

其中，磨料主要影响化学机械抛光中的机械作用。磨料的选用主要从磨料的种类、浓度以及粒径三个方面来考虑。目前CMP化学机械抛光液中常用的磨料主要有金刚石、氧化铝、氧化硅等单一磨料，也有氧化硅/氧化铝混合磨料以及核壳型的复合磨料等。行业内主流化学机械抛光液产品分为氧化铝抛光液、金刚石抛光液、二氧化硅抛光液和氧化铈抛光液等。

蓝宝石抛光行业主流采用的仍是纳米二氧化硅作为抛光液，最后得到抛光表面的粗糙度（Ra，原子力显微镜测试）均在0.3nm以下。无锡吉致电子科技25年抛光液厂家,为您解决蓝宝石抛光难题！

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