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SIC碳化硅的化学机械抛光工艺

碳化硅Sic单晶生长之后是晶碇,而且具有表面缺陷,是没法直接用于外延的,这就需要加工。其中,滚圆把晶碇做成标准的圆柱体,线切割会把晶碇切割成晶片,各种表征保证加工的方向,而抛光则是提高晶片的质量。SiC…
2024-01-27 09:56类目:五金

第三代半导体材料--碳化硅晶圆SiC抛光液

随着硅半导体材料主导的摩尔定律逐渐走向其物理极限,以化合物半导体材料,特别是第三代半导体为代表的半导体新材料快速崛起。半导体抛光液是半导体材料制程中不可或缺是耗材。其中碳化硅是新型电力系统,特高压…
2024-01-24 10:38类目:五金

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